产品简介
硅光在片测试系统主要由CM300xi-SiPh 300 mm探针台组成，CM300xi-SiPh 300 mm探针台是市场上首个经过验证的集成测量解决方案，可在安装后立即进行经过生产验证的优化光学测量，无需进一步开发。该探针台支持Contact Intelligence™，这是一种创新技术，能够检测环境变化并作出反应，以优化探针接触准确度，从而实现自主型半导体测试。
产品特性
自动化校准和对准
自动化光学探针校准
独特的枢轴点校准
光学扫描、梯度搜索功能和子晶片管理用于实现组合型光学和自动化电气探测
采用光导技术的可再配置光纤臂
针对工程和批量环境的灵活性
可在单个光纤和光纤阵列之间进行配置
专门设计的Z 轴位移套件可调节晶圆和光纤之间的距离
典型配置
光学显微镜
光纤准直系统
产品应用
硅光子学