同轴电缆–直流参数测试,低至pA级别
可移动压板,高度调节为40 mm,接触/分离行程为200μm,重复精度为±1μm
卡盘载物台具有可调节的摩擦力和载物台锁,独特的Z卡盘调节和90毫米拉出
电磁定位器具有1μm的功能分辨率和3个带有精密滚珠轴承的线性轴
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