FormFactor的Pharos™探针系列彻底革新了晶圆级光子学测试，既为硅光子学（SiPh）应用提供了低损耗边缘耦合，也增强了表面耦合。该系列拥有多个版本——Pharos™ Edge 短焦、长焦和垂直镜头——提供高精度、自动化和灵活性，满足从工程到大规模生产环境的需求，并提供高精度光学测量。
Pharos探针旨在支持数据中心、可穿戴设备、人工智能和激光雷达等行业，确保对光学收发机、传感器和光互连的准确可靠测试。配合FormFactor的SiPh-Tools 4.0，该系统包含AutoCal和自主硅光子学助手，提供自动化校准，简化设置，使即使是经验不足的用户也能轻松完成复杂测试。
主要特征：
三种多功能版本：
短镜头：非常适合晶圆级沟槽，沟槽深度和工作距离较短。
长镜头：设计用于晶圆级V型槽，沟槽更深且工作距离更长。
竖版：针对垂直/光栅耦合耦合应用进行了优化，在晶圆级光子学技术中提供了多功能性。
低损耗边缘耦合：
Pharos-Edge™短焦和长焦镜头确保晶圆级沟槽和V型沟的低损耗耦合，提供高精度光学测量，这对硅光子学测试至关重要。
自动校准支持AutoCal：
整合SiPh-Tools 4.0，AutoCal功能简化校准流程，加快设置速度，减少手动调整需求。这带来了更高的吞吐量和更低的运营成本。
专利透镜与透镜技术：
FormFactor独特的光学透镜和透镜设计提供准确定位和可靠结果，用户交互极少，确保测量可重复且精确。