产品简介
高精度、高效率（index移动、晶圆搬送、晶圆对齐）、低震动、低噪音、新一代高性能探针台。
最新标准搭载杀毒软件和反恶意软件。
继承前代设备的性能和操作性、维持参数、MAP数据的互换性、可以安全、安心、简单的进行使用。
规格参数
设备型号 | AP3000 | AP3000e | |
综合精度（本公司规定条件下） | ± 0.8µm 以内 | ± 1.5 µm 以内 | |
适用的晶圆尺寸 | Φ 200 mm、Φ 300 mm | ← | |
X-Y 轴 | 行程 | ± 170 mm（XY 各轴测试区域） | ← |
最大速度 | X 轴 ：750 mm/sec Y 轴 ：750 mm/sec | ← | |
Z 轴 | 行程 | 37 mm | ← |
最大速度 | 150 mm/sec | ← | |
Θ轴 | 旋转角度 | ± 4° | ← |
晶圆对齐 | 彩色照相机 ITV 图像匹配 | 黑白照相机 ITV 图像匹配 | |
搬送部 | 料盒数量 | 1 个(2个 ：选配项目） | ← |
搬送方式 | 晶圆背面吸附式机械臂搬送 | ← | |
硬盘 | 1 TB 以上 | ← | |
USB 端口 | 可以外接 USB 存储器 | ← | |
显示器 | 1 5 英寸 TFT 高分辨率彩色液晶屏 | ← | |
电源 | AC200~240 V、 单相、 50/60 Hz | ← | |
空气源 | 压力 | 0.6 ～ 0.99 MPa | ← |
流量 | 30 L/min 以上 | ← | |
真空源 | 压力 | -53 ～ -100 kPa | ← |
流量 | 30 L/min 以上 | ← | |
外观尺寸 | 1,525（宽）x 1787( 深 ) x 1422 ( 高） mm | ← | |
重量 | 约 1,650 kg （标准式样） | ← | |
噪音 | 70 dB 以下 （欧洲机械指令 / SEMI S2 对应） | ← | |
安全 | 欧洲机械指令 / SEMI S2 对应 | ← | |
主要选配项目
主要选配项目
清针单元
洁净化对应
ScanPMI２/ScanPMI2H：针迹检查
各种测试头/针卡连接部品
搬送部：2个搬送端口/AMHS等各种自动化对应
head stage倾斜补正单元（针卡倾斜补正单元）
台盘：常温/高温/低温/(低噪音）
APC：自动换卡单元
料盒ID读取
晶圆ID读取（正面/背面）
GP-IB端口
探针台网络系统(Veganet、Light-Veganet、Vega-Planet、GEM）
PCAS（针卡自动设定）
针卡 PGV