产品简介
HPD 4 K 低温晶圆探针台是一种高精度全自动探针台，适用于 4 K 环境中的 150 毫米和 200 毫米晶圆。为了加速商用量子和超导计算机的实现，我们为芯片开发人员提供了智能迭代设计所需的工具。 4 K 低温晶圆探测器集成了可配置的 DC 和 RF 电缆，以及可用于测试配置的最大灵活性的定制探针卡。具有集成磁屏蔽的稳健设计提供了必要的稳定环境条件，以确保为最敏感的超导设备提供最高质量的数据。全自动晶圆装载和复杂的Velox软件套件允许进行高吞吐量测试和无人值守操作，以快速获取数据。 FormFactor 的长期探测专业知识和数十年的精密低温经验在该系统中相结合，将超导设备测试和测量从实验室带入晶圆厂。
产品特性
晶圆温度验证 <4.5 K（44 个射频探头接触）
磁场抑制<200 nT
高度均匀的晶圆温度
精确的热稳定性和控制
坚固的花岗岩底座结构可实现精确的运动和振动控制
轻松更换可定制的探针卡
全自动或手动晶圆装载选项
用于手动、半自动或全自动探测的完整软件套件
产品应用
量子计算
超导芯片开发
量子信息科学
规格参数
晶圆尺寸 | 150毫米和200毫米 |
行程 | +/- 112 mm XY, 0 - 13 mm Z， +/- 10°Theta |
运动分辨率 | <1 μm XYZ，<0.0001°Theta |
XY速度 | 25mm /s |
显微镜 | 50 mm XYZ，分辨率<3 μm |
最低温度 | 晶片温度<4.5 K，有44个射频探头接触 |
测量通道 | 56 RF连接(最高18ghz)和520DC |
晶片容量 | 25片，晶片之间的交换时间小于15分钟 |
静止磁场 | <200 nT |