产品简介
Thermo Scientific OptiFIB Taipan 系统是一款强大的聚焦离子束电路编辑系统，专注于优化10nm工艺节点。其具有最高的成像分辨率和切割精度、最高的离子束定位精度、低系统漂移，因而具备更高的成功率和生产率。OptiFIB Taipan 系统还具有独特的以电路编辑为核心的化学反应和软件自动化，以进一步提升使用性。
电路编辑技术提供了纳米加工能力，可以在集成电路制造过程的各个点对微小的设计修正，为开发人员创建少量功能芯片，并解决可靠性问题。
产品特性
超高的FIB分辨率成像和低电流离子束铣削
Super-SED具有更高的信噪比和端点灵敏度
独特的同轴离子-光子束流柱
先进的气体输送系统
先进的支持行业经验证的PIAscan引擎
产品应用
失效分析
微组装
规格参数
FIB Column | Ion-Photon Coaxial Taipan column forbackside and frontside circuit edits |
FIB image resolution | 2.7 nm @250 fA and 30 kV (Thermo Scientific graphite sample) |
Acceleration voltage | 0.5–30 kV |
Beam current | 250 fA–20 nA |
Stage travel (X,Y,Z) | 75 mm x 75 mm x 20 mm |
Beam stability/driftcontrol | 4 nm/min |
Conductor resistivity | ≤ 200 μΩ∙cm |
Insulator resistivity | ≥ 1E15 μΩ∙cm |