产品简介
V400ACE聚焦离子束(FIB)系统整合了离子柱设计、气体输送和端点检测的最新成果，为先进的集成电路提供快速、高效、经济有效的加工修改。
电路编辑可以让产品设计师在数小时内更改导电通道和测试修改后的电路，而不是需要几周或几个月来生成新的掩模和加工新的晶圆。 更少、更短的修改和测试周期允许制造商加速新工艺，以更快地获得高产量的利润，并率先推出定价更高的新产品。 V400ACE是专门为满足先进设计和工艺的挑战而设计的:更小的几何尺寸、更高的电路密度、奇异的材料和复杂的互连结构。
产品特性
快速，精确的电路修改
纳米化学气体输送系统
同时绘制SE和样品电流图，提高了端点检测能力
快速、准确的横截面显示缺陷
可选的背面编辑能力与近红外显微镜
产品应用
失效分析
微组装
规格参数
Ion Column | Tomahawk, Ga liquid metal 1000 hour lifetime |
Acc. Voltage | 0.5 kV – 30 kV |
Beam Current | 1.1 pA – 65 nA |
Image Resolution | 4.5nm |
Stage | 5-axes motorized eucentric X, Y motion 100 mm Tilt -10° to 60° Rotation 360° |
End Point Detect | Simultaneous SE/specimen current auto scaled plots |
Key options | Charge Neutralizer (electron flood gun) Bulk Si Trenching IR Microscope Electrical Feedthroughs |