产品简介
新的 Thermo Scientific Apreo 2 SEM 经扩展可访问高性能成像以及针对所有级别显微镜专业知识的分析。凭借 Thermo Scientific ColorSEM 技术，一种独特的实时元素成像功能，可以通过最直观的界面随时获得组分信息。ColorSEM 技术消除了与典型 EDS 实施相关的所有麻烦，为您提供前所未有的结果时间和易用性。
凭借 Thermo Scientific SmartAlign 技术（一种光学系统、可以自己对齐），Apreo 2 SEM 对用户和实验室管理人员提出了更小的要求。此外，Apreo 2 SEM 采用 Thermo Scientific FLASH 技术，可实现图像微调过程的自动化。FLASH 技术对镜头居中、消像散器和图像的最终焦点执行任何必要的校正。这些技术的组合意味着电子显微镜的新用户可以获得 Apreo 2 SEM 的高端性能。此外、Apreo 2 SEM 是唯一一款在 10 mm 分析工作距离具备 1 纳米分辨率的 SEM。
产品特性
范围广泛的样品类型
实时定量 EDS
长工作距离
SmartAlign 技术
产品应用
半导体失效分析
规格参数
Apreo 2S | Apreo 2C | |
分辨率 | 在 1 kV 下 0.9 nm 在 1 kV 下 0.8 nm（光束减速） 在 1 kV 下 1.0 nm、工作距离为 10 mm （光束减速） 在 500 kV 下 0.8 nm（光束减速） 在 200 kV 下 1.2 nm（光束减速） | 在 1 kV 下 1.2 nm 在 1 kV 下 1.0 nm（光束减速） 在 500 kV 下 1.2 nm（光束减速） |
标准检测器 | ETD、T1、T2、T3、IR-CCD、Nav-Cam+ | ETD、T1、T2、IR-CCD、Nav-Cam+ |
可选检测器 | DBS、LVD、DBS-GAD、STEM 3+、RGB CLD、EDS、EBSD、WDS、拉曼、EBIC 等。 | |
着陆能量范围 | 20 eV – 30 keV | |
载物台偏倚（光束减速） | -4000 V 至 +600 V 标准（每个系统） | |
低真空模式 | 可选：10 – 500 Pa 腔室压力 | |
载物台 | 5-轴电动共心载物台，110 x 110 mm2，105° 倾斜范围。最大样品重量：未倾斜位置，5 kg。 | |
最大射束电流 | 50 nA（也可配置为 400 nA） | |
腔室 | 340 mm 内宽，12 个端口，最多三个同步 EDS 检测器（两个在 180° 处）、共面 EDS/EBSD 与载物台的倾斜轴正交 | |