产品简介

Metrios DX是一款80-200kV扫描/透射电子显微镜，可提供基于TEM和S/TEM的可重复成像、分析和测量的计量结果，具有前所未有的吞吐量水平。

Thermo Scientific Metrios DX TEM结合了经过验证的技术和创新的新功能，是半导体和存储环境的首选平台，应对越来越复杂的结构和收缩的几何形状，具备更大尺寸的精确测量能力。

除了新的硬件，Metrios DX TEM还配备了新的软件功能，以改善数据传输速度。灵活的图像采集(FIT+)可以在任何类型的结构上实现自动化，不需要任何测试程序修改。用户可以在多个样品上定义感兴趣的TEM、S/TEM和EDS采集区域，FIT+将自动获取数据。同时Metrios DX TEM收集数据并上传到Image Viewer数据库。Metrios DX TEM的设计具有前所未有的易用性，是经验丰富的显微镜专家和新用户的理想选择。灵活的用户界面允许全自动化计量和采集、半自动化操作或手动数据采集。自动图像采集与自动计量相结合，极大地提高了数据精度。

产品特性

• 超稳定、高亮度肖特基场发射枪(X-FEG)，确保高亮度和高发射电流   

• 对称物镜，有5.6毫米宽的极片间隙

• Thermo Scientific Constant Power Lens，模式切换的热稳定性更高

• 全数字系统，智能摄像头

• 计算机化的5轴样品压电平台，精确存储样品位置

产品应用

半导体失效分析

规格参数