产品简介
D9650 C-SAM是世界上使用最广泛的超声波扫描显微镜,可用于常规实验室分析和筛选应用。
D9650是一款专门设计用于失效分析、工艺开发、材料表征和小批量生产检测的通用工具,其性能是无可匹敌的。
作为C-SAM声学微成像的最新代表,D9650提供了无与伦比的精度和可靠性,搭配最新版的测控软件,提高了实验室声学显微镜的性能水平。
产品特性
带有Multi-Gate 及Probing-Gate 功能的PolyGate 技术,可以进行单一及多层自动聚焦成像
每频道多达100个Gates
Windows 10 Sonolytics 2 界面,64字节处理能力
线性马达扫描仪可扫描JEDEC托盘
带有塔式安装扫描参考平台及样品定位架,更加精准
方便使用扫描区域使安装、拆卸更加方便,可以扫描JEDEC托盘或300mm晶圆片
定量的B-Scan是Sonoscan独有的分析模式(Q-BAM)
B-Scan模式提供了虚拟横截面视图,并带有准确的极性、幅值和深度数据
产品应用
超声波成像
失效分析
规格参数
线性马达扫描仪扫描面积 | 314×314mm(12.4×12.4 in) |
X-Y-Z轴精确度 | 0.5微米 |
数据分辨率 | 六千七百万像素(8K) (4百万像素(2K)标配) |
脉冲发生器/接收器 | 500 MHz |
数据采集门控 | 每个通道有100个 |
门控 | 选1至10,000纳秒 |