产品简介
Nordson DAGE的X射线检测系统专为PCB和半导体行业设计，并且采用了符合人体工程学的设计，可提供高分辨率纳米级焦距X射线系统，不仅可用于故障分析实验室，也可用于生产环境。
独一无二的DAGE NT密封传送型X射线管是DAGE NT X射线检测系统的核心部件。其取代了早期系统中使用的闭合式管和开放式管，性能得到了很大的提升。只有采用密封传送型射线管才能切实提高X射线图像的分辨率，同时还能提供大功率，而不影响分辨率和放大率。
Quadra系列X射线检测仪拥有超越了光学成像的成像效果，能够无损地检查设备和组件内部的模糊区域，高性能X射线管和探测器，可识别100纳米以下的特征，放大倍数可达68000倍。
产品特性
六硼化镧（LaB6）发射源
分辨到产品100nm细节处的功能，可以确保图像明亮、清晰和稳定
Aspire FP 探测器可以以30fps捕获6.7MP的图像
两个4K UHD 显示器
无油离子泵真空设计，无需换油
产品应用
失效分析
晶圆测试
规格参数
Quadra3 | Quadra5 | Quadra7 | |
X-Ray Tube | Quadra NT filament free transmissive | ||
Feature recognition | 0.95μm | 0.35μm 0.95μm above 10W | 0.10μm 0.30μm above 10W |
Tube target power | 10W | 10W（20W Optional） | 20W |
Voltage | 30-160kV | ||
Detector | AspireFP Flat Pannel Detector | ||
Resolution | 1.4 MP | 3 MP | 6.7MP |
Frame rate | 10 fps | 25 fps | 30 fps |
Digital image processing | 16 bit | ||
Inspection area | 510 x 445 mm (20 x 17.5”) | ||
Anti-vibration | Passive | AXiS - Active X-ray Image Stabilization | |
Geometric magnification | Up to x 2,000 | Up to x 2,500 | |
Total magnification | Up to x 7,500 | Up to x 45,000 | Up to x 68,000 |
Display | 24”WUXGA 1920 x 1200 | 24” WUXGA 1920 x 1200 | Twin 24”4K UHD 3840 x 2160 |