超精密组装系统(Die Bonder)

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产品简介

MRSI Systems公司建造MRSI-705是为了实现更高标准的可靠而值得信赖的操作,其设计基于获奖的工业标准平台。主系统X、Y轴采用带有高解析度直线编码器的零压力、无钢且主动冷却的直线电机驱动。编码器刻度达0.1微米精度,可实现快速、精密、闭环定位。并通过更高端的线缆管理及Z轴先进的空气轴承技术提高了可靠性。

平台的设计更少地采用了运动的机械部件。实心花岗岩平台从顶部支撑贴片头,因此无机械结构处于悬臂状态。所有这些因素使MRSI-705在保证热稳定和机械稳定的同时,实现极快的启动时间和±8微米乃至更好的贴片精度,从而满足了关键应用的要求。


产品特性

  • 超大、可自由配置的工作区域

  • 适用于高端装配的压力控制

  • 足够的灵活性适应小批量生产和大批量生产

  • 进的视觉系统可在360°全方位范围内进行的芯片的快速探测和定位

  • 共晶焊-快速升温,脉冲加热台

  • 带激光高度感应的点胶功能


产品应用

  • 3D封装

  • 晶圆级封装

  • LED装配

  • 微波组件

  • 光电模块

  • 射频功率放大器

  • 红外传感器

  • 压力传感器

  • 微机电器件

  • 半导体封装

  • 混合电路

  • 多芯片模块

  • 心脏起搏器和助听器

  • 医学成像

  • 激光二极管

  • 喷墨及打印头

  • 太阳能集中器封装

  • 芯片上的系统

  • 封装内的系统


规格参数

贴放重复精度

±1.5μm @ 3 sigma

XY轴速度

1m/sec或40英寸/秒

Z轴贴放

根据压力或高度贴放

压力控制

通过实时反馈控制对每次贴放进行编程,压力范围10克至2000克

行程

X: 20.0 in. (508 mm), Y: 35.0 in. (890 mm), Z: 1.25 in. (32 mm), ø: 360°

解析度

X: 0.1 µm, Y: 0.1 µm, Z: 0.4 µm, ø 0.004°

容量

可容纳多达90个2”x2”waffle料盒或24个4”x4”料盒或组合料盘

晶圆

晶圆,可达8英寸,配有马达驱动Z轴顶针机械装置

芯片尺寸

最小0.008平方英寸


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