产品简介
MRSI Systems公司建造MRSI-705是为了实现更高标准的可靠而值得信赖的操作,其设计基于获奖的工业标准平台。主系统X、Y轴采用带有高解析度直线编码器的零压力、无钢且主动冷却的直线电机驱动。编码器刻度达0.1微米精度,可实现快速、精密、闭环定位。并通过更高端的线缆管理及Z轴先进的空气轴承技术提高了可靠性。
平台的设计更少地采用了运动的机械部件。实心花岗岩平台从顶部支撑贴片头,因此无机械结构处于悬臂状态。所有这些因素使MRSI-705在保证热稳定和机械稳定的同时,实现极快的启动时间和±8微米乃至更好的贴片精度,从而满足了关键应用的要求。
产品特性
超大、可自由配置的工作区域
适用于高端装配的压力控制
足够的灵活性适应小批量生产和大批量生产
先进的视觉系统可在360°全方位范围内进行的芯片的快速探测和定位
共晶焊-快速升温,脉冲加热台
带激光高度感应的点胶功能
产品应用
3D封装
晶圆级封装
LED装配
微波组件
光电模块
射频功率放大器
红外传感器
压力传感器
微机电器件
半导体封装
混合电路
多芯片模块
心脏起搏器和助听器
医学成像
激光二极管
喷墨及打印头
太阳能集中器封装
芯片上的系统
封装内的系统
规格参数
贴放重复精度 | ±1.5μm @ 3 sigma |
XY轴速度 | 1m/sec或40英寸/秒 |
Z轴贴放 | 根据压力或高度贴放 |
压力控制 | 通过实时反馈控制对每次贴放进行编程,压力范围10克至2000克 |
行程 | X: 20.0 in. (508 mm), Y: 35.0 in. (890 mm), Z: 1.25 in. (32 mm), ø: 360° |
解析度 | X: 0.1 µm, Y: 0.1 µm, Z: 0.4 µm, ø 0.004° |
容量 | 可容纳多达90个2”x2”waffle料盒或24个4”x4”料盒或组合料盘 |
晶圆 | 晶圆,可达8英寸,配有马达驱动Z轴顶针机械装置 |
芯片尺寸 | 最小0.008平方英寸 |