AD2000T 全自动划片机

  • 产品详情


产品简介

AD2000T 全自动划片机是综合了水气电、空气静压高速主轴、精密机械传动、传感器及自动化控制等技术的精密数控设备。主要用于硅集成电路,发光二极管,铌酸锂,压电陶瓷,砷化镓,蓝宝石,氧化铝,氧化铁,石英,玻璃,陶瓷,太阳能电池片等材料的划切加工。利用高能激光束照射在工件表面,使被照射区域局部熔化、气化、从而达到划片的目的。


产品特性

良好地使用隔间内所有的元件与选择性单元,以达到最佳化间隔

标准轴转速最高可达60000rpm

两光学切割机组单元

全球最小的刀片间距


产品应用

硅片切割、划片

硅片清洗

UV膜粘性去除


规格参数

最大工作尺寸

Φ 12inch, 305mm

主轴

转速

60000rpm

功率

1.8kW

X轴

切割范围

310mm

最大速度

1000mm/sec

Y1/Y2

切割范围

310mm

最大速度

300mm/sec

分辨率

0.078μm

精度

0.002mm/310mm

Z1/Z2

行程

34mm

最大速度

80 mm/sec

分辨率

0.002μm

重复精度

0.001 mm

θ

转动范围

380°



首页
客服