晶圆上功率器件的表征
优化的测量设置
优化的信号路径
各种不同分析仪的无缝集成
具有表面涂层的Triax卡盘,用于低泄漏测量,最高3kV,可提供高隔离度
高电流测量,最高接触电流100 A,接触电阻最低
针对 10 kV(同轴电缆)工作电压的任选升级
薄晶圆处理能力
电弧防护和先进的接地概念
带互锁的屏蔽罩,用于EMI /不透光环境
为使用者和器件提供了针对高压电击的最大程度保护
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