Cascade EPS150Tesla 6英寸手动探针台

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MPS150 - 150 mm Probe Station - Configuration Example:High Powe

晶圆上功率器件的表征

  • 优化的测量设置

  • 优化的信号路径

  • 各种不同分析仪的无缝集成

  • 具有表面涂层的Triax卡盘,用于低泄漏测量,最高3kV,可提供高隔离度

  • 高电流测量,最高接触电流100 A,接触电阻最低

  • 针对 10 kV(同轴电缆)工作电压的任选升级

  • 薄晶圆处理能力

  • 电弧防护和先进的接地概念

  • 带互锁的屏蔽罩,用于EMI /不透光环境

  • 为使用者和器件提供了针对高压电击的最大程度保护

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