故障分析与设计调试

• 稳定的显微镜桥设计和XY显微镜，放大倍数高达4000倍（可选）

• 激光切割机和相机准备就绪

• 触点亚微米特征

• 同时使用探针卡和单针（选件）

• 用于单个 DUT 的芯片载物台

• 从晶圆至芯片至封装的极快转移

• 具有1μm功能分辨率的真空定位器

• 具有纳米级分辨率和准确度的 DPP450 针座（选项）

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