• SlimVue显微镜，可快速更换镜头，视点分辨率1μm，可分辨‹50μm的垫片

• mmW压板上刻有专用SIGMA套件的导板

• 支持宽带、负载牵引、同轴电缆 RF 和带状波导配置

• 探针台板位置的光反馈（量规）

• 隔振平台

               毫米波探测高达太赫兹和负载牵引

• SlimVue显微镜，可快速更换镜头，视点分辨率为1μm，可分辨‹50μm的垫片

• mmW压板上刻有专用SIGMA套件的导板

• 支持宽带、负载牵引、同轴电缆 RF 和带状波导配置

• 探针台板位置的光反馈（量规）

• 坚如磐石的机械设计和隔振平台

• 亚微米级精度

• 电动定位器

• <+-1μm分离重复性

• 千分尺精度和可重复的探头放置以及超行程

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