Triax –低噪声测量，低至fA级别

• 立体显微镜：15x–100x放大倍率，具有大视野和可用于照相机的C型卡口

• 四个三轴探头臂和高质量的三轴电缆

• 光/EMI 屏蔽（任选）

• 用于 fF 级别测量的升级选项

• TRIAX卡盘具有±8的theta卡盘精细旋转，三个辅助区域，卡盘表面具有±5μm的平面度，以实现一致的接触力和超行程

• 利用单一设置可完成东/西至北/南测量

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