型号

外观

主要特性

标准阻抗校准片

• 用于 ACP、Infinity 和 FPC 探针

• 确保在矢量网络分析仪的晶圆上校准中获得更高的准确度和更好的重复精度

• 提供了经验证的 LRRM 校准准确度

• 具有自动负载电感补偿功能

CSR 校准片

• 与|Z|探针完美匹配

• 所有的 CSR 校准片都在校准片本身之上包括 Open 标准，因而与为了 Open 而简单地抬高探针相比，提供了一种更加准确的校准。由于我们的探针系统在激光修整工艺中使用，所以对于所有的负载 (Load) 标准，典型准确度皆优于 0.1%。而且，在 10 K 至 430 K 的温度范围内，Load 标准的电阻保持稳定在理想值 (50 Ω) 的 0.3% 以内

多线TRL校准片

• 毫米波和亚毫米波校准片

• 专为 T-Wave™ 探针而优化

• 多线 TRL 校准衬底提供了 CPW 标准，包括反射（短路）、thru 和两线

• 衬底材料：高阻性硅

• 衬底厚度：275 µm

• 介电常数：11.8

• 标称 Z0：50 Ω

Pyramid校准片

• 匹配 DUT 布局的能力改善了 RF 校准，可实现更好的良率

• 探针卡中位点之间偏移的减小免除了建立关联的需要

• 对于多 DUT 校准，通过在多个标准上的单次触压减少了校准时间

• 探针、校准片和校准系数在单个方框中（每个thru的延时、C_OPEN，L_LOAD和L_SHORT）