产品简介

射频发生器是产生等离子体的能量来源。它将标准的50/60Hz交流线路电源转换为13.56MHz射频信号。并加到密闭腔室内的一组电极上，将腔室中的一些气体分子电离为化学反应原子、离子和自由基组成的低温等离子体。

射频发生器具有内置的安全功能，以保护功率晶体管免受过度反射功率的影响，并调节输出功率。

等离子体可以用于加工材料的表面以进行清洁、蚀刻、剥离和/或活化。

射频发生器包含反射功率和散热器温度控制程序。在打开射频电源之前，控制程序确保腔室中的压力在可接受的范围内。这可防止对匹配网络造成损坏。

产品特性

可用气体

铝制或陶瓷腔室：空气，氩气，氧气，一氧化二氮，四氟化碳，氦气

玻璃腔室：空气，氩气，氧气，一氧化二氮，四氟化碳

质量流量控制计   最多至6路气体
工艺压力      200-2000 mTorr(取决于真空泵和气体流量)
抽真空时间      大约1分钟 (取决于真空泵)
射频电源     风冷13.56MHz,600 瓦(标准配置)
供给需求电源　　220V 单相, 50Hz
工艺气体     输入压力 1-2 bar
吹扫气体     输入压力 1-2 bar
压缩空气     输入压力 4-6 bar

产品应用

有机、金属和复合基底的表面改性和清洗