产品简介

WAT测试系统，即晶圆允收测试（Wafer Acceptance Test），是半导体晶圆在完成所有制程工艺后，针对晶圆上的电路结构进行电性能测试。

通过对WAT数据的分析，我们可以发现半导体制程工艺中的问题，帮助制程工艺进行调整。

典型配置

• 4200A-SCS 参数分析仪

• SMU 2600B 系列 SourceMeter

• 探针台测试系统

产品应用

• 高阻抗应用的 C-V 测量

• VCSEL 测试

• 纳米级设备检定

• 材料电阻率

• MOSFET 检定

• 激光二极管 (VCSEL) 生产测试

• LED 简化的 I/V 检定

• IDDQ 测试与待机电流测试

• 高度同步、多针、多通道、少主机生产系统