产品简介

对于几乎所有的器件类型和半导体技术， DC参数测量贯穿于半导体产品开发和生产的每个阶段。精确且可重复的直流参数测量（IV，CV，脉冲和高功率）可降低不确定性。

测试完整性面临各方面的威胁

大量因素可能会破坏直流电性测试。由于外部环境的影响，电噪声可能出现在数据中 - 例如，来自蜂窝网络，无线电/电视塔和附近电子设备的电磁干扰和射频干扰，以及温度和振动等物理因素。

测试系统内部的因素也会影响结果 - 例如，设计不良的信号路径产生的漏电流，电阻或热电压偏移，材料能量存储以及来自于基本的探针台系统组件的电噪声，如电源，平台电机，温控系统和电脑。

如果管理不当，这些因素会导致数据偏移和整个样本集的统计分布增加，从而严重降低电性能。糟糕的数据是昂贵的 - 重新测试的时间，额外的建模周期，延迟的产品发布以及性能不佳的产品。

产品特性

同轴电缆–直流参数测试，低至pA级别

• 可移动压板，高度调节为40 mm，接触/分离行程为200μm，重复精度为±1μm

• 卡盘载物台具有可调节的摩擦力和载物台锁，独特的Z卡盘调节和90毫米拉出

• 电磁定位器具有1μm的功能分辨率和3个带有精密滚珠轴承的线性轴

  
  

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